Lub siab tsis siv neeg kheej kheej txoj kab uas hla yog ib qho khoom siv tshuaj ntsuam xyuas siv rau siab -kev ntsuas qhov tseeb ntawm lub vojvoog ntawm curvature, focal length, thiab sphericity yuam kev ntawm spherical nto (convex/concave surfaces). Nws lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb yog nyob ntawm ob qhov loj: "optical parameter mapping" thiab "automated precise control", uas tuaj yeem raug faib ua peb qhov txuas tseem ceeb:
1. Lub hauv paus ntsiab lus kho qhov muag pom: Parameter rov qab txiav tawm raws li geometric optics thiab cuam tshuam cuam tshuam
Lub hauv paus ntsiab lus nyob rau hauv kev tsim "kev paub kho qhov muag" los ntawm kev kho qhov muag, siv qhov kev xav / kev cuam tshuam ntawm qhov ntsuas lub ntsej muag kom hloov "sperical geometric parameters (xws li lub vojvoog ntawm curvature)" rau hauv " ntsuas qhov muag pom tau (xws li qhov chaw nyob, cuam tshuam fringes)", thiab tom qab ntawd ces inferring tus qauv. Lub ntsiab technical paths tau muab faib ua ob pawg:
Txoj kev Autocollimation (tsim rau nruab nrab thiab qis precision ntsuas ceev)
Optical txoj kev tsim: Lub teeb sib npaug uas tawm los ntawm lub teeb pom kev sib txuas (xws li He-Ne laser) yog qhov cuam tshuam los ntawm cov kab hluav taws xob sib cais thiab tom qab ntawd tshwm sim perpendicularly ntawm lub ntsej muag kheej kheej los ntsuas. cov
Cov cim cim: Yog tias lub teeb sib luag yog qhov tshwm sim ntawm lub ntsej muag kheej kheej, lub teeb pom kev zoo yuav sib sau ua ke ntawm "center of curvature" ntawm qhov chaw. Thaum qhov xwm txheej ntawm qhov chaw concave kheej kheej, lub teeb pom kev sib txawv los ua kom pom tseeb (sib npaug rau kev tawm ntawm qhov chaw ntawm curvature). cov
Kev suav Parameter Lub cuab yeej ntes qhov chaw ntawm qhov chaw tsom ntawm lub teeb pom kev los ntawm qhov siab -precision CCD duab sensor. Los ntawm kev sib txuas qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv ntawm "siv dav hlau (xws li lub dav hlau focal ntawm lub lens collimating ua rau hauv lub ntsuas)" thiab "focus point", thiab hloov nws mus rau hauv cov qauv R=2 × (L - f₀) (qhov twg R yog lub vojvoog ntawm curvature, L yog qhov ntsuas qhov deb, thiab f₀ yog lub lens focal ntev). curvature yog ncaj qha inferred. cov
Interferometry (tsim rau siab - kev kuaj pom tseeb, nrog qhov tseeb ntawm ± 0.1μm)
Kev tsim kho qhov muag pom kev: Michelson cuam tshuam kev kho qhov muag tau txais yuav los faib cov teeb pom kev sib txuas ua ke rau hauv ob kab teeb - ib kab teeb yog xwm txheej ntawm "siv dav hlau daim iav" (tus qauv dav hlau), thiab lwm yam kab teeb yog xwm txheej ntawm "ntsuas lub ntsej muag". Tom qab ob lub teeb pom kev zoo sib xws, "sib npaug-thickness cuam tshuam fringes" yog tsim vim txoj kev kho qhov muag sib txawv. cov
Kev tsom xam cov teeb liab: Kev hloov pauv ntawm qhov curvature ntawm lub ntsej muag kheej kheej yuav ua rau muaj kev hloov pauv hauv "zoo li (xws li ncig lossis elliptical)" thiab "spacing" ntawm kev cuam tshuam fringes - yog tias qhov curvature ntawm spherical nto tsis sib xws, cov fringes yuav yog concentric voj voog. Yog tias muaj qhov yuam kev ntawm qhov tsis sib xws (xws li hauv zos protrusions / kev nyuaj siab), cov kab txaij yuav hloov lossis deform. cov
Kev suav Parameter Lub software cia li txheeb xyuas qhov chaw nruab nrab ntawm qhov cuam tshuam fringes thiab qhov sib nrug deb. Ua ke nrog lub wavelength (xws li laser wavelength ntawm 632.8nm), txoj kev kho qhov muag sib txawv yog muab los ntawm "fringe order sib txawv", thiab ces hloov mus rau hauv lub vojvoog ntawm curvature thiab kheej kheej℃yuam kev. Lub hauv paus ntawm cov mis derivation yog raws li qhov sib txawv ntawm qhov pom qhov sib txawv=2 × Δh=k × λ (Δh yog qhov siab sib txawv ntawm lub ntsej muag kheej kheej thiab qhov chaw siv). k sawv cev rau qhov kev txiav txim fringe thiab λ sawv cev rau lub wavelength ntawm lub teeb ci. cov
2. Automation module: tshem tawm phau ntawv yuam kev thiab ua tiav kev tswj xyuas meej thoob plaws tag nrho cov txheej txheem
Tsis zoo li cov kev txwv ntawm phau ntawv pob txoj kab uas hla gauges uas tso siab rau phau ntawv tsom thiab nyeem ntawv, tag nrho cov pob kab kab uas hla tsis siv neeg ua tiav qhov yuam kev thiab cov txheej txheem automation los ntawm "mechatronic tswj". Cov thev naus laus zis tseem ceeb suav nrog peb lub ntsiab lus:
Tsis siv neeg sib dhos thiab tsom
Nruab nrog "precision electric guide rails" (repeat positioning precision Tsawg dua los yog sib npaug li 0.05μm) thiab "laser displacement sensors", nws tuaj yeem hloov kho qhov txheeb ze ntawm qhov ntsuas spherical nto thiab kho qhov muag kom ntseeg tau tias qhov teeb meem teeb pom kev yog perpendicular mus rau vertex ntawm lub kheej kheej nto (tsis txhob ntsuas qhov xwm txheej). cov
Nws pib -focusing system sau qhov pom tseeb ntawm lub teeb pom kev nyob rau lub sijhawm tiag tiag los ntawm CCD thiab tuaj yeem kho qhov ntev ntawm lub lens raws li "ntug sharpness algorithm", yog li ntawd lub ntsiab lus tseem ceeb ntawm lub teeb pom kev zoo nyob ntawm qhov pom kev pom ntawm lub sensor. Kev tsom xam qhov tseeb tuaj yeem ncav cuag ± 0.01μm. cov
Tsis siv neeg sau cov ntaub ntawv thiab tsom xam
Tsis muaj phau ntawv nyeem yuav tsum tau: CCD sensor sau cov teeb liab kho qhov muag ntawm qhov zaus preset (xws li 10 thav duab ib ob), thiab lub software cia li lim tawm suab nrov (xws li ambient teeb cuam tshuam) thiab rho tawm cov teeb liab zoo (xws li cuam tshuam fringe profiles, tsom teeb pom kev zoo). cov
Tiag -lub sij hawm xam thiab calibration: Ua-nyob rau hauv "standard pob database" (xws li quartz txheem pob nrog paub lub vojvoog ntawm curvature), cia li hu rau tus qauv pob rau "systematic yuam kev calibration" (paub rau qhov ua yuam kev xws li qhia rail clearance thiab kev ntsuas qhov muag, offset) xyuas kom cov ntaub ntawv raug. cov
Ntau - qhov ntsuas qhov sib txuas cov zis
Ib qho kev ntsuas ib txhij tuaj yeem tso tawm qhov ntsuas xws li "luav voj voog ntawm curvature (R), focal ntev (f, raws li tus qauv f=R/(n-1), qhov twg n yog qhov ntsuas qhov ntsuas ntawm cov khoom), qhov yuam kev sphericity, thiab vertex thickness", yam tsis tas yuav hloov cov ntsuas ntsuas ntau zaus. cov
Txhawb nqa cov ntaub ntawv tsis siv neeg xa tawm (xws li hauv Excel thiab CAD hom), thiab tsim "cov ntaub ntawv tshawb xyuas yuam kev" (xws li cuam tshuam cov qauv thiab curvature faib curves), ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua kom zoo ntawm cov khoom siv kho qhov muag. cov
3. Cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm qhov zoo: Vim li cas cov khoom siv tau zoo dua? cov
Nws qhov zoo nyob rau hauv precision thiab efficiency qia los ntawm "yuam kev tswj ntawm lub hauv paus ntsiab lus":
Tsis txhob yuam kev hauv phau ntawv qhia: Cov khoom siv phau ntawv cia siab rau tib neeg lub qhov muag los txiav txim siab qhov taw tes, nrog qhov yuam kev txog li ± 5μm, thaum cov khoom siv tsis siv neeg tuaj yeem ua tiav txoj haujlwm los ntawm algorithms, txo qhov yuam kev mus rau ± 0.01μm. cov
Tshem tawm ib puag ncig cuam tshuam: Ua- nyob rau hauv qhov ntsuas kub tsis tu ncua (kev tswj qhov kub thiab txias ± 0.1) them nyiaj rau thermal expansion thiab contraction ntawm cov ntaub ntawv, thiab automated optical txoj kev kaw tsim txo cov cua ntws thiab kev co ntawm txoj kev kho qhov muag. cov
Txhim kho qhov rov ua tau zoo: Qhov yuam kev rov ua dua ntawm phau ntawv ntsuas feem ntau yog ntau dua 0.5%, thaum cov khoom siv tsis siv neeg, los ntawm cov txheej txheem txheej txheem, tuaj yeem tswj qhov yuam kev rov ua dua li ntawm 0.05%. cov
